Verfahren zur hermetischen Verkapselung eines Mikrosystems

PS 10 2010 036 217.4 – B81C 1/00. AT 27.08.2010; OT 01.03.2012; PT 20.02.2014. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Hahn, Robert, Dr., 13156 Berlin, DE, Marquardt, Krystan, 13465 Berlin, DE.

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