Miniaturisiertes elektrisches Bauelement mit einem Stapel aus einem MEMS und einem ASIC

PS 10 2010 006 132.8 – B81B 7/00. AT 29.01.2010; OT 04.08.2011; PT 08.05.2013. Anm.: EPCOS AG, 81669 München, DE. Erf.: Feiertag, Gregor, Dr., 80689 München, DE, Pahl, Wolfgang, 80336 München, DE, Krüger, Hans, 81737 München, DE, Leidl, Anton, Dr., 85662 Hohenbrunn,

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