Verfahren zur Mikroherstellung eines kapazitiven mikrogefertigten Ultraschallwandlers mit einer Diamantmembran und in diesem Verfahren hergestellter Wandler

WP 60 2012 007 215.6 - B81C 1/00. AT 10.04.2012; OT 18.10.2012; PT 06.05.2015. Anm.: Bayram, Baris, Ankara, TR. Erf.: Bayram, Baris, 06800 Ankara, TR.

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