Mikromechanischer Drucksensor mit beheiztem Passivierungsmittel und Verfahren zu seiner Steuerung
Beschreibung: In der vorliegenden Erfindung wird eine mikromechanische Vorrichtung mit einem mikromechanischen Bauelement und einem Heizelement beziehungsweise ein Verfahren, mit dem das Heizelement gesteuert und/oder geregelt werden kann, beschrieben. Das Heizelement dient dabei dazu, das mikromechanische Bauelement, welches vorzugsweise elektrische Komponenten aufweist, und/oder ein Passivierungsmittel, welches das mikromechanische Bauelement umgibt, auf eine vorgebbare Temperatur zu bringen.
PS 10 2005 029 841.9 – B81B 7/00. AT 27.06.2005; OT 23.03.2006; PT 05.09.2013. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Benzel, Hubert, 72124 Pliezhausen, DE, Muehlheim, Richard, 72076 Tübingen, DE, Guenschel, Roland, 72770 Reutlingen, DE, Wehrmann, Frank, 72770 Reutlingen, DE, Lepidis, Polichronis, 72770 Reutlingen, DE, Loidreau, Maxime, 72764 Reutlingen, DE.