Mikromechanischer kapazitiver Drucksensor und entsprechendes Herstellungsverfahren
Beschreibung: Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement mit einem zumindest bereichsweise leitfähigen Substrat; einer elastisch auslenkbaren zumindest bereichsweise leitfähigen Membran, welche gewölbt und vom Substrat elektrisch isoliert über einer Vorderseite des Substrats vorgesehen ist, wobei die Membran einen Innenbereich und einen Randbereich aufweist; und einem Hohlraum, der zwischen dem Substrat und der Membran vorgesehen ist; wobei der Innenbereich einen gegenüber dem Randbereich modifizierten Querschnitt aufweist, wodurch eine Durchbiegung des Innenbereichs im Vergleich zum Fall eines identischen Querschnitts verringert ist. Die Erfindung schafft ebenfalls ein entsprechendes Herstellungsverfahren.
PS 10 2005 004 878.1 – B81B 3/00. AT 03.02.2005; OT 10.08.2006; PT 08.01.2015. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Laermer, Franz, 71263 Weil der Stadt, DE, Kronmüller, Silvia, 71409 Schwaikheim, DE, Leinenbach, Christina, 66806 Ensdorf, DE.