Verstärkte Mikroelektromechanische Systeme und Herstellungsverfahren dafür
WP 60 2012 017 641.5 - B81C 1/00. AT 13.02.2012; OT 23.08.2012; PT 27.04.2016. Anm.: Kionix, Inc., Ithaca, N.Y., US. Erf.: Blackmer, Charles, W., Ithaca, NY 14850, US Adams, Scott, G., Ithaca, NY 14850, US Hocking, Andrew, S., Ithaca, NY 14850, US Lynch, Kristin, J., Ithaca, NY 14850, US Shah, Ashish, A., Waltham, MA 02452, US