MEMS-Bauelement mit Dünnschicht-Abdeckung mit verbesserter Stabilität und Verfahren zur Herstellung

PS 10 2014 117 599.9 - B81B 7/02. AT 01.12.2014; OT 02.06.2016; PT 16.06.2016. Anm.: EPCOS AG, 81669 München, DE. Erf.: Bauer, Thomas, Dr., 81476 München, DE Schäufele, Ansgar, Dr., 81667 München, DE Eggs, Christoph, Dr., 84431 Rattenkirchen, DE

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