Verfahren zur Steuerung der Filmspannung in MEMS-Vorrichtungen

EP 60 2008 027 436.5 – B81C 1/00. AT 22.07.2008; OT 12.03.2009; PT 11.09.2013. Anm.: Nicht genannt. Erf.: Fortin, Vincent, Québec J2L 1A7, CA, Quellet, Luc, Granby Québec J2H 2R8, CA.

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