MEMS-Mikrofon

PS 10 2011 075 260.9 – B81B 7/02. AT 04.05.2011; OT 08.11.2012; PT 06.12.2012. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Jochen Zöllin, 70193 Stuttgart, DE, Ricardo Ehrenpfordt, 70825 Korntal-Münchingen, DE, Ulrike Scholz, 70825 Korntal-Münchingen, DE.

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