Verfahren zur Strukturierung einer Nutzschicht eines Substrats
Verfahren zur Strukturierung einer Nutzschicht eines Substrats, wobei das Substrat eine Trägerschicht, die Nutzschicht und eine zwischen der Trägerschicht und der Nutzschicht angeordnete Zwischenschicht umfasst. Die Zwischenschicht ist dabei strukturiert, um zumindest in einem Abschnitt eine erste Oberfläche der Trägerschicht, die der Nutzschicht zugewandt ist, freizulegen. Ausgehend von einer zweiten Oberfläche der Trägerschicht, die der ersten Oberfläche gegenüberliegt, wird die Dicke der Nutzschicht an jenen Stellen, an denen die Zwischenschicht entfernt ist, auf eine vorbestimmte Dicke reduziert.
PS 10 2008 026 886.0 - B81C 1/00. AT 05.06.2008; OT 17.12.2009; PT 28.04.2016. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Drabe, Christian, Dr., 01099 Dresden, DE Klose, Thomas, 01109 Dresden, DE