Bauteil mit einem MEMS-Bauelement und einer Kappenstruktur mit Medienanschlussöffnung

PS 10 2014 214 532.5 - B81B 7/02. AT 24.07.2014; OT 08.10.2015; PT 08.10.2015. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Reinmuth, Jochen, 72766 Reutlingen, DE.

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