Mikromechanisches Bauelement mit reduzierter Spannung in der Membranstruktur

EP 50 2008 013 152.3 - B81B 3/00. AT 12.11.2008; OT 24.06.2009; PT 15.07.2015. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Benzel, Hubert, 72124, Pliezhausen, DE; Schelling, Christoph, 70597, Stuttgart, DE.

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