Vorrichtung und Verfahren für die Herstellung von gasundurchlässigen Schichten

EP 50 2004 013 281.2 – C23C 14/00. AT 06.08.2004; OT 08.02.2006; PT 08.02.2012. Anm.: Applied Materials GmbH & Co. KG, 63755 Alzenau, DE. Erf.: Hegemann, Thomas, 63579 Freigericht, DE, Sommer, Elisabeth, 63755 Alzenau, DE.