Verfahren und Anlage zur gleichzeitigen Ablagerung von Filmen auf beiden Seiten eines Substrats

WP 60 2009 005 686.7 – C23C 16/509. AT 16.07.2009; OT 21.01.2010; PT 29.02.2012. Anm.: AGC Glass Europe, Bruxelles, BE. Erf.: Michel, Eric, 57270 Uckange, FR, Leclercq, Joseph, 1140 Evere, BE, Tixhon, Eric, 4367 Crisnée, BE.

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