Verfahren zum Vakuumbeschichten eines Substrates mit einem transparenten leitfähigen Metallegierungsoxid sowie eine transparente leitfähige Schicht aus einem Metallegierungsoxid

WP 50 2010 013 188.4 - C23c 14/00. AT 16.12.2010; OT 28.07.2011; PT 15.02.2017. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V., 80686 München, DE. Erf.: Fahland, Matthias, 01257 Dresden, DE Schönberger, Alexander, 01169 Dresden, DE Schönberger, Waldemar, 01109 Dresden, DE Straach, Steffen, 01187 Dresden, DE Schiller, Nicolas, 01833 Stolpen OT Helmsdorf, DE