Aluminiumtitannitridbeschichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung

WP 60 2010 034 101.1 - C23C 14/06. AT 01.09.2010; OT 07.04.2011; PT 15.06.2016. Anm.: KENNAMETAL INC., Latrobe, Pa., US. Erf.: Ni, Wangyang, Latrobe, Pennsylvania 15650, US Penich, Ronald M., Greensburg,Pennsylvania 15601, US Liu, Yixiong, Greensburg,Pennsylvania 15601, US Beblo, Michael F., Delmont,Pennsylvania 15626-1308, US