Temperiereinrichtung und Vakuumprozessanlage

GM 20 2012 100 763.0 – C23C 14/56. AT 05.03.2012; ET 30.03.2012; PT 24.05.2012. Anm.: VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH, 01324 Dresden, DE. Erf.: Nicht genannt.