Vorrichtung zur Herstellung eines diamantartigen Kohlenstofffilms und Verfahren zur Herstellung eines diamantartigen Kohlenstofffilms

WP 60 2009 030 949.8 – C23C 16/27. AT 10.02.2009; OT 20.08.2009; PT 29.04.2015. Anm.: iMott Inc., Yokohama-shi, Kanagawa, JP. Erf.: Iwamoto, Yoshinao, Hujimi-shi Saitama 354-0026, JP, Matsuo, Makoto, Yokohama-shi Kanagawa 225-0012, JP, Ohtake, Naoto, Yokosuka-shi Kanagawa 239-0807, JP.