Mikromechanisches Bauelement mit einer Membran und Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauelements
Es wird ein mikromechanisches Bauelement mit einer Membran vorgeschlagen, deren Aufbau das Eindringen von Schmutzpartikeln in die Kaverne wirkungsvoll verhindert. Ferner wird ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauelements vorgeschlagen. Die Struktur des erfindungsgemäßen Bauelements ist in einem Schichtaufbau realisiert, der mindestens eine erste Opferschicht und ein Schichtsystem über der ersten Opferschicht umfasst. Unter der Membran ist eine Kaverne in der ersten Opferschicht ausgebildet. Erfindungsgemäß ist im Bereich der Membran zwischen der oberen Schicht und der direkt über der ersten Opferschicht angeordneten unteren Schicht des Schichtsystems mindestens ein Zugangskanal zur Kaverne ausgebildet, der mindestens eine Öffnung in der oberen Schicht und mindestens eine Öffnung in der unteren Schicht aufweist, wobei die Öffnung in der oberen Schicht und die Öffnung in der unteren Schicht gegeneinander versetzt angeordnet sind.
PS 10 2005 005 551.6 - B81B 3/00. AT 07.02.2005; OT 22.09.2005; PT 01.10.2015. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Fischer, Frank, 72810 Gomaringen, DE; Artmann, Hans, 71034 Böblingen, DE; Metzger, Lars, 72116 Mössingen, DE; Höchst, Arnim, 72076 Tübingen, DE; Gonska, Julian, 72770 Reutlingen, DE.