Verfahren zum Herstellen von elektrischen Bauteilen
Es wird ein Verfahren zum Herstellen von elektrischen Bauteilen angegeben, wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst: Ausbilden eines Photoresists auf einem Teil der Oberfläche eines Substrats, Ausbilden einer Metallschicht auf der Oberfläche des Substrats, nachdem das Photoresist ausgebildet wurde; Entfernen eines Teils der Metallschicht; Entfernen eines Metalloxidfilms, der sich beim Entfernen eines Teils der Metallschicht auf der Oberfläche der Metallschicht gebildet hat; und Entfernen des Photoresists. Durch dieses Verfahren kann der Kontaktwiderstand auf den Oberflächen der elektrischen Bauteile vermindert werden.
PS 10 2005 041 609.8 - B81C 1/00. AT 01.09.2005; OT 02.03.2006; PT 25.06.2015. Anm.: Sumitomo Electric Industries, Ltd., Osaka-shi, Osaka, JP. Erf.: Nitta, Koji, Osaka, JP, Inazawa, Shinji, Osaka, JP, Hirata, Yoshihiro, Osaka, JP, Okada, Kazunori, Osaka, JP.