Verfahren zur Herstellung eines mikrostrukturierten Bauelements
Beschreibung: Die Erfindung betrifft ein mikrostrukturiertes Bauelement und ein Verfahren zu dessen Herstellung, das mindestens folgende Schritte aufweist: Ausbilden und Strukturieren einer ersten Maskenschicht mit ersten Öffnungen auf einem Substrat, Ätzen von Makroporen in dem Substrat durch die ersten Öffnungen, Ausbilden von Porenwandschichten in dem Substrat um die Poren herum, Ausbilden einer zweiten Maskenschicht auf der ersten Maskenschicht und Strukturieren von gegenüber den ersten Öffnungen lateral versetzten zweiten Öffnungen durch die erste Maskenschicht und die zweite Maskenschicht bis zu dem Substrat, Gasphasenätzen eines Freiraums in dem Substrat durch die zweiten Öffnungen mit einem die Porenwandschichten nicht ätzenden Ätzgas derartig, dass der Freiraum die Porenwandschichten in zumindest deren oberen Bereich umgibt. Erfindungsgemäß können auf einer geringen lateralen Substratfläche dünne, mechanisch stabile, mit geringer Wärmeleitfähigkeit an das Substratmaterial angekoppelte Membranen ausgebildet werden.
PS 10 2004 024 285.2 – B81B 3/00. AT 15.05.2004; OT 01.12.2005; PT 15.05.2014. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Nagel, Sabine, 71679 Asperg, DE, Feyh, Ando, 70839 Gerlingen, DE.