Verfahren zum Herstellen eines integrierten mikromechanischen Fluidsensor-Bauteils, integriertes mikromechanisches Fluidsensor-Bauteil und Verfahren zum Detektieren eines Fluids mittels eines integrierten mikromechanischen Fluidsensor-Bauteils

PS 10 2014 200 583.3 - B81C 3/00. AT 15.01.2014; OT 13.05.2015; PT 13.05.2015. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Fix, Richard, 70839 Gerlingen, DE, Hartke, Rene, 70178 Stuttgart, DE, Beintner, Jochen, 72764 Reutlingen, DE.

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