Mikromechanischer Druckschalter sowie Verfahren zur Herstellung des Mikromechanischen Druckschalters

PS 103 11 795.4 – B81B 7/02. AT 18.03.2003; OT 30.09.2004; PT 27.09.2012. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Heinz-Georg Vossenberg, 72793 Pfullingen, DE.

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Verfahren zur Herstellung einer Mikrodüsenplatte

• Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauteils

• Stellglied in einem Mikrofluidsystem zur Erzeugung einer elektroosmotischen Fluessigkeitsbewegung in einem Mikrokanal und Verfahren zur Erzeugung einer elektroosmotischen Flüssigkeitsbewegung in einem Mikrokanal

• Anordnung zum Erzeugen eines definierten Abstands zwischen Elektrodenflächen auf integrierten Bauelementen für chemische und biochemische Sensoren

• Produktion von Mikrostrukturen in Mikrosystemen

• Verfahren zum Herstellen einer mikroelectromechanischen Struktur

• Verfahren zur Reduzierung von Haftreibung während der Manipulation von Mikroobjekten auf einer Oberfläche

• Mikromechanischer Drucksensor mit beheiztem Passivierungsmittel und Verfahren zu seiner Steuerung

• Nanoprägelithographieverfahren

• Reduzierung der Haftung von MEMS durch Einbringen einer Kohlenstoffbarriereschicht

Links zu diesem Artikel

Werbepartner