Mikromechanischer Druckschalter sowie Verfahren zur Herstellung des Mikromechanischen Druckschalters

PS 103 11 795.4 – B81B 7/02. AT 18.03.2003; OT 30.09.2004; PT 27.09.2012. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Heinz-Georg Vossenberg, 72793 Pfullingen, DE.

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