Einkapselung in einem hermetisch abgeschlossenen Hohlraum eines mikroelektronischen Bauteiles, insbesondere eines MEMS

EP 60 2007 046 409.9 - B81C 1/00. AT 14.03.2007; OT 19.09.2007; PT 25.05.2016. Anm.: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, Paris, FR. Erf.: Robert, Philippe, 38100, GRENOBLE, FR

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