Verfahren zur Erzeugung einer dreidimensionalen mikromechanischen Struktur aus zweidimensionalen Elementen und mikromechanisches Bauelement

PS 10 2008 012 826.0 – B81C 1/00. AT 06.03.2008; OT 16.10.2008; PT 15.11.2012. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Thilo, Dr. Sandner, 01156 Dresden, DE.

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