Mikromechanisches Bauelement mit einer schwingfähigen mikromechanischen Struktur, Sensorbauelement und Verfahren zur Herstellung eines Bauelements
Beschreibung: Es wird ein mikromechanisches Bauelement mit einer schwingfähigen mikromechanischen Struktur und zwei gegeneinander bewegbarer Oberflächen sowie ein entsprechendes Herstellungsverfahren vorgeschlagen, wobei die erste und/oder zweite Oberfläche als Kelvinsonde zur Messung der Austrittsarbeit oder der Oberflächenenergie vorgesehen ist und wobei die zweite Oberfläche im wesentlichen parallel zu einer Haupterstreckungsebene des Substrats bewegbar vorgesehen ist.
PS 10 2006 049 886.0 – B81B 3/00. AT 23.10.2006; OT 24.04.2008; PT 16.10.2014. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Scheuerer, Roland, 72768 Reutlingen, DE.