Sensorbauelement und Verfahren

PS 10 2012 108 305.3 - B81C 1/00. AT 06.09.2012; OT 07.03.2013; PT 29.10.2015. Anm.: Infineon Technologies AG, 85579 Neubiberg, DE. Erf.: Elian, Klaus, 93087 Alteglofsheim, DE Ruhl, Günther, 93057 Regensburg, DE Theuss, Horst, 93173 Wenzenbach, DE Escher-Poeppel, Irmgard, 93049 Regensburg, DE

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