Verfahren zur Fixierung einer beweglichen Komponente eines mikromechanischen Bauelements
WP 50 2013 002 809-7 - B81B 3/00. AT 24.05.2013; OT 05.12.2013; PT 27.04.2016. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE; Technische Universität Chemnitz, 09111 Chemnitz, DE. Erf.: Bertz, Andreas, 09123 Chemnitz, DE Schulz, Stefan, E., 09120 Chemnitz, DE