Verfahren zur Herstellung eines Mikrosystems mit integrierter Schaltung und mikromechanischem Bauteil
Beschreibung: Auf dem Substrat wird eine Si-Schicht erzeugt, die im Bauelementbereich als Funktionsschicht ausgebildet ist. Dann wird eine integrierte Schaltung mit einer (Mehrlagen)Metallisierung erzeugt, die auf den anzuschließenden mikromechanischen Verbindungselementen jeweils mindestens bis zu einer Kontaktstelle geführt ist. In den Verbindungselementen wird jeweils eine zum umgebenden Schaltungsbereich der Si-Schicht (Si-Festland) elektrisch isolierende Soll-Unterbrechungsstelle erzeugt, über die die Metallisierung brückenartig hinweggeführt ist.
PS 103 48 908.8 – B81B 7/02. AT 21.10.2003; OT 25.05.2005; PT 20.03.2014. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Laermer, Franz, 71263 Weil der Stadt, DE.