Verfahren zur Herstellung eines Mems-Mikroskops

WP 60 2007 040 474.6 – B81C 99/00. AT 20.03.2007; OT 27.09.2007; PT 04.03.2015. Anm.: Wolfson Microelectronics plc, Edinburgh, GB. Erf.: Traynor, Anthony, United Kingdom, GB, Begbie, Mark, United Kingdom, GB, Laming, Richard Ian, United Kingdom, GB.