Strukturen und Entwurfsstrukturen mikroelektromechanischer Systeme (MEMS)

PS 10 2012 221 818.1 - B81C 1/00. AT 29.11.2012; OT 20.06.2013; PT 21.07.2016. Anm.: International Business Machines Corporation, Armonk, N.Y., US. Erf.: Czabaj, Brain M., Essex Junction, Vt., US DeMuynck, David A., Essex Junction, Vt., US Stamper, Anthony K., Essex Junction, Vt., US

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Mikromechanisches Bauelement und entsprechendes Herstellungsverfahren

• Sensoranordnung

• Verfahren zum Prüfen von MEMS-Vorrichtungen

• Mikromechanisches Bauelement mit einer schwingfähigen mikromechanischen Struktur, Sensorbauelement und Verfahren zur Herstellung eines Bauelements

• Anordnung zum Erzeugen eines definierten Abstands zwischen Elektrodenflächen auf integrierten Bauelementen für chemische und biochemische Sensoren

• Nanoeinheiten, gebildet mit eingehängter Graphen-Membran

• Verfahren zur Herstellung einer Mikrodüsenplatte

• Kapazitive mikro- und/ oder nanoelektronische Vorrichtung mit erhöhter Kompaktheit

• Verfahren zur Herstellung einer mikro-oder nanomechanischen Struktur, die eine poröse Oberfläche enthält

• Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung

Links zu diesem Artikel

Werbepartner