Strukturen und Entwurfsstrukturen mikroelektromechanischer Systeme (MEMS)

PS 10 2012 221 818.1 - B81C 1/00. AT 29.11.2012; OT 20.06.2013; PT 21.07.2016. Anm.: International Business Machines Corporation, Armonk, N.Y., US. Erf.: Czabaj, Brain M., Essex Junction, Vt., US DeMuynck, David A., Essex Junction, Vt., US Stamper, Anthony K., Essex Junction, Vt., US

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