Verfahren für die Positionierung von Mikrostrukturelementen

PS 10 2012 201 713.5 – B81C 1/00. AT 06.02.2012, OT 08.08.2013; PT 30.04.2014. Anm.: Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden e.V., 01069 Dresden, DE. Erf.: Harazim, Stefan, 01445 Radebeul, DE, Sachnez, Samuel, 01187 Dresden, DE, Schmidt, Oliver G., 01219 Dresden, DE.

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