Hohlraum für ein mikromechanisches Bauelement

EP 60 2010 028 012.8 - B81C 1/00. AT 30.07.2010; OT 16.02.2011; PT 07.10.2015. Anm.: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, Paris, FR. Erf.: Baillin, Xavier, 38920, CROLLES, FR Caplet, Stéphane, 38360, SASSENAGE, FR Hilt, Thierry, 38530, BARRAUX, FR

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