Mikrostrukturiertes Bauelement und ein Verfahren zum Herstellen eines mikrostrukturierten Bauelements
Beschreibung: Die Erfindung betrifft ein mikrostrukturiertes Bauelement, das mindestens aufweist: einen Chip mit einem mikrostrukturierten Bereich und einem Oberflächenbereich, auf dem eine nanostrukturierte, selbstorganisierte Beschichtung aufgebracht ist. Die nanostrukturierte, selbstorganisierte Beschichtung kann als Antihaftbeschichtung zum Abweisen von Feuchtigkeit oder eines umgebenden Moldmaterials dienen. Weiterhin kann bei Flip-Chip- und Stack-Chip-Technologien eine Haftwirkung erzielt werden, so dass zusätzliche Verbindungsbereiche kleiner dimensioniert werden können.
PS 10 2004 020 173.0 – B81B 1/00. AT 24.04.2004; OT 17.11.2005; PT 20.02.2014. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Keim, Markus, 72766 Reutlingen, DE.