Verfahren zum Verkapseln einer MEMS-Struktur

EP 60 2010 031 627.0 - B81C 1/00. AT 16.12.2010; OT 20.06.2012; PT 30.03.2016. Anm.: NXP B.V., Eindhoven, NL. Erf.: In 'T Zandt, Michael Antoine Armand, Redhill, Surrey RH1 1DL, GB Van Den Einden, Wim, Redhill, Surrey RH1 1DL, GB Roosen, Harold, Redhill, Surrey RH1 1DL, GB

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Mikrostrukturierte Anordnung zur blasenfreien Befüllung zumindest eines Systems zur Ableitung von Flüssigkeiten, Vorrichtung mit einer solchen Anordnung und Befüllungsverfahren.

• Verfahren zur Herstellung von nichtplanaren Membranen mit chemisch-mechanischem Polieren

• Verfahren zur hermetischen Verkapselung eines Mikrosystems

• Mikropumpe

• Elektronisches Bauelement mit Differentialsensor-Mems-Vorrichtung und gebohrten Substraten

• Elastische Vorrichtung

• Integrierte Struktur mit bidirectionalem vertikalem Antrieb

• Verfahren zum Herstellen einer mikroelectromechanischen Struktur

• Hohlraumverbindungsstruktur, die eine oder mehrere aufsteigende Leiter an den Wänden des Hohlraums aufweist und deren Herstellungsverfahren

• Schutzkapsel für MEMS-Vorrichtungen

Links zu diesem Artikel

Werbepartner