Verfahren zum Verkapseln einer MEMS-Struktur

EP 60 2010 031 627.0 - B81C 1/00. AT 16.12.2010; OT 20.06.2012; PT 30.03.2016. Anm.: NXP B.V., Eindhoven, NL. Erf.: In 'T Zandt, Michael Antoine Armand, Redhill, Surrey RH1 1DL, GB Van Den Einden, Wim, Redhill, Surrey RH1 1DL, GB Roosen, Harold, Redhill, Surrey RH1 1DL, GB

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