Mikromechanisches Verfahren zum Herstellen eines flexiblen Schichtelements
Beschreibung: Es wird ein mikromechanisches Verfahren und ein Bauelement mit einem flexiblen Schichtelement beschrieben. Zur Herstellung des Schichtelements ist eine Funktionsschicht auf einer Opferoxidschicht und die Opferoxidschicht auf einer Grundplatte aufgebracht. Die Grundplatte wird von der Unterseite her in einer Ausnehmung geöffnet und anschließend die Opferoxidschicht über ein flüssiges Ätzverfahren in einem Öffnungsbereich entfernt. Dabei wird auch eine seitliche Unterätzung der Funktionsschicht erreicht. Eine nachfolgende optional aufgebrachte Schutzschicht kann bewegliche Schichtelemente stützen, welche in den folgenden Prozessschritten von der Oberseite der Funktionsschicht her aus der Funktionsschicht über ein Ätzverfahren herausgearbeitet werden. Diese Schutzschicht kann anschließend z. B. mit einem Fluorwasserstoff-Gasphasenätzschritt wieder entfernt werden. Durch die beschriebene Vorgehensweise wird ein Verkleben des Schichtelements mit der Grundplatte bei einem Abstand von kleiner als 100 μm verhindert.
PS 103 34 243.5 – B81C 99/00. AT 28.07.2003; OT 17.02.2005; PT 28.11.2013. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Fuertsch, Matthias, 72810 Gomaringen, DE, Finkbeiner, Stefan, 72810 Gomaringen, DE, Lammel, Gerhard, 72074 Tübingen, DE, Weiss, Stefan, 72072 Tübingen, DE, Kaschner, Axel, 72770 Reutlingen, DE, Pirk, Tjalf, 13589 Berlin, DE.