Verfahren zur Herstellung mikromechanischer Strukturen sowie mikromechanische Struktur

PS 10 2007 035 633.3 – B81C 1/00. AT 28.07.2007; OT 19.02.2009; PT 04.10.2012. Anm.: Protron Mikrotechnik GmbH, 28359 Bremen, DE. Erf.: Andreas Menz, 28209 Bremen, DE, Ralf, Dr. Höper, 28279 Bremen, DE.

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