Verfahren zur Verbesserung der mechanischen Stabilität von MEMS-Mikrofonen

EP 60 2014 005 449.8 - B81B 3/00. AT 06.10.2014; OT 15.04.2015; PT 14.12.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Zhang, Yujie, Pittsburgh, Pennsylvania 15220, US Doller, Andrew J., Sharpsburg, Pennsylvania 15215, US Buck, Thomas, 71732 Tamm, DE

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