Mikromechanischer Membransensor und entsprechendes Herstellungsverfahren

WP 50 2008 008 368.5 – B81B 3/00. AT 29.02.2008; OT 06.11.2008; PT 10.10.2012. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Armbruster, Simon, 72810 Gomaringen, DE, Knese, Kathrin, 70374 Stuttgart, DE, Weber, Heribert, 72622 Nürtingen, DE.

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