MEMS-Stellglieder
WP 60 2004 047 864.4 - B81B 3/00. AT 15.04.2004; OT 04.11.2004; PT 09.09.2015. Anm.: Réseaux MEMS, Laval, Québec, CA. Erf.: Ménard, Stéphane, Kirkland, Québec H9J 3Z9, CA; Lassonde, Normand, Pincourt, Québec J7V 4S5, CA; Villeneuve, Jean-Claude, Boisbriand, Québec J7H 1A4, CA.