Verfahren und Bereich zur Abdichtung zwischen zwei Mikrostruktur-Substraten

WP 602 48 223.2 - B81B 7/00. AT 17.12.2002; OT 24.07.2003, PT 27.07.2016. Anm.: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Paris, FR. Erf.: Diem, Bernard, F-38130 Echirolles, FR Caplet, Stéphane, F-38360 Sassenage, FR Delaye, Marie-Thérèse, F-38600 Fontaine, FR

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