Mikromechanische Strukturen und Verfahren zum Betrieb einer mikromechanischen Struktur
Es wird eine mikromechanische Struktur mit einem eine Haupterstreckungsebene aufweisenden Substrat und einer relativ zum Substrat beweglichen seismischen Masse vorgeschlagen, wobei das Substrat eine erste Fingerelektrode aufweist, wobei die seismische Masse eine zweite Fingerelektrode aufweist, wobei die erste Fingerelektrode im Wesentlichen parallel sowohl zu der zweiten Fingerelektrode, als auch zur Haupterstreckungsebene ausgerichtet ist und wobei ferner die erste Fingerelektrode im Wesentlichen entlang einer zur Haupterstreckungsebene senkrechten Lotrichtung zumindest teilweise zwischen der zweiten Fingerelektrode und dem Substrat angeordnet ist.
PS 10 2009 000 168.9 - B81B 3/00. AT 13.01.2009; OT 22.07.2010; PT 23.03.2017. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Classen, Johannes, 72764 Reutlingen, DE Gauger, Christoph, 71083 Herrenberg, DE