Verfahren und Vorrichtung zur Ablagerung von Nanopartikeln mit hoher Haftkraft

WP 60 2010 038 594.9 - C23C 18/12. AT 05.01.2010; OT 15.07.2010; PT 07.12.2016. Anm.: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Paris, FR. Erf.: Phan, Hai Trieu, F-38000 Grenoble, FR Gruss, Jean-Antoine, F-38170 Seyssinet, FR Poncelet, Olivier, F-38000 Grenoble, FR

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