Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Filmes

EP 603 41 932.1 – C23C 16/54. AT 14.02.2003; OT 10.09.2003; PT 29.08.2012. Anm.: Fujitsu Limited, Kawasaki, JP. Erf.: Maruyama, Kenji, Fujitsu Limited, Kawasaki-shi, Kanagawa-ken 211-8588, JP, Umemiya, Shigeyoshi, Fujitsu Limited, Kawasaki-shi, Kanagawa-ken 211-8588, JP.