Verfahren und Vorrichtung zum Aufbringen von Feststoffschichten
WP 50 2011 008 989.9 - C23C 14/54. AT 19.05.2011; OT 01.12.2011; PT 02.03.2016. Anm.: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., 80539 München, DE. Erf.: Fischer, Dieter, 71272 Renningen, DE Jansen, Martin, D-53127 Bonn, DE de la Fuente lEIS, Xermán, F., E-50018 Zaragoza, ES