Einrichtung zum Transport von Substraten durch Vakuumanlagen

Beschreibung: Die Förderung von Substraten durch Vakuumbeschichtungsanlagen erfolgt auf Transportmitteln, auf denen die scheibenförmigen Substrate befestigt sind. Die Produktivität derartiger Anlagen wird wesentlich durch die Durchlaufzeit durch die Schleusen bestimmt. Meist sind die Substratoberflächen durch die Halteelemente abgedeckt, was nachteilig ist. Bei sehr dünnen und zerbrechlichen Substraten können diese mechanischen Mittel nicht eingesetzt werden. Der Luftstrom beim Be- und Entlüften der Schleusen führt zu Verwirbelungen, welche die Substrate ausheben und zerstören können. Erfindungsgemäß liegen die Substrate in Aussparungen auf einem Transportmittel. Über den Substraten wirkt mit definiertem Druck auf deren Oberfläche weich und elastisch ein Fixiermittel. Dessen Antrieb befindet sich in der Schleuse. Hauptanwendungsgebiet ist die Beschichtung von zerbrechlichen Substraten beliebiger Geometrie, wie aus Glas.

PS 10 2009 017 305.6 – C23C 14/56. AT 16.04.2009; OT 05.01.2011; PT 06.12.2012. Anm.: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH, 01324 Dresden, DE. Erf.: Laimer, Georg, 01662 Meißen, DE.