Mikropumpe

PS 10 2011 107 046.3 - B81B 1/00. AT 11.07.2011; OT 17.01.2013; PT 24.03.2016. Anm.: Friedrich-Schiller-Universität Jena, 07743 Jena, DE; Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Beckert, Erik, 99310 Arnstadt, DE Pabst, Oliver, 07745 Jena, DE