Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauteils_1

WP 60 2009 028 833.4 – B81C 3/00. AT 04.11.2009; OT 27.05.2010; PT 07.01.2015. Anm.: Nivarox-FAR S.A., Le Locle, CH. Erf.: Verardo, Marco, CH-2336 Les Bois, CH, Fussinger, Alexandre, CH-2075 Wavre, CH.

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