System und Verfahren zur Herstellung von Nanostrukturen

WP 60 2009 039 468.1 - C23C 14/04. AT 14.05.2009, OT 19.11.2009; PT 29.06.2016. Anm.: Consiglio Nazionale delle Ricerche, Rom/Roma, IT. Erf.: Tormen, Massimo, I-34129 Trieste, IT Gotter, Roberto, I-34011 Duino Aurisina (Trieste), IT Prasciolu, Mauro, I-27036 Mortara (Pavia), IT