Magnetisch auf einem Substrathalter gehaltene Schattenmaske

WP 50 2009 009 897.9 – C23C 16/04. AT 23.09.2009; OT 01.04.2010; PT 03.09.2014. Anm.: Aixtron SE, 52134 Herzogenrath, DE. Erf.: Offermans, Arno, 52457 Aldenhoven, DE, Franken, Walter, 52249 Eschweiler, DE, Gersdorff, Markus, 52134 Herzogenrath, DE.